交換用ヒーター要素 IP65
目を刺すような眩しさのない暖房:IP65対応のヒーターの正しい使い方
バスルームは、暖房ライトを使うには最悪の環境です。至る所に蒸気があり、湿度も高く、特に目が敏感な赤ちゃんを含む人々が、その光の直下に立っています。注意しなければ、ライトが短絡してしまったり、まるで太陽の光を直視しているような状態...
グローブボックス用赤外線ヒーター素子
IRランプによってウェーハが損傷するのを防ぎましょう。
大量生産を行う半導体製造現場では、IRランプが故障すると大変な問題になります。単に稼働停止だけの問題ではありません。もし石英管がシリコンウェーハの上で破壊されれば、ウェーハが汚染され、一括して廃棄しなければならなくなります。本当に厄介です。...
リソグラフィーソフトベーク加熱素子
ファブフロアにおいて、ソフトベイクの温度安定性は単なる好みではなく、クリティカルディメンションを維持するか、ウェーハがスクラップ化するかの境界線である。温度が1.5℃ずれるだけで、フォトレジストのプロファイルマージンが消失し、ベイク中に発生した粒子は次層の汚染を引き起こす。これらの故障モードを根本...