半導体ヒーター用熱電対

バーストランプによって製品が台無しになるのを防ぐ方法 半導体の加熱処理において、バーストランプは大きな問題です。単に加熱が停止するだけではありません。重負荷のために石英管が破裂すると、まるで手榴弾のようになり、ウェーハの表面にガラスの破片や金属片が飛び散ります。一度破裂すれば、作成された製品は全て...