数週間ごとにヒーターを交換するのはやめましょう。 化学洗浄エリアで赤外線ヒーターを使用している場合、その苦労はよくわかるでしょう。周囲には可燃性の蒸気が漂い、腐食性の液体もあって、何もかもを侵食してしまいます。普通のクォーツ管では到底対応できません。交換用の部品を注文する間に、すぐに壊れてしまいま...

メモリースイッチ用ウェーハを汚れなく乾燥させる方法 メモリースイッチセンサーを製造する際、最も避けたいのは、ほこりや化学物質がウェーハを損傷させることです。しかし、その表面から水分や溶剤を取り除くのは簡単ではありません。 長年にわたり、人々は送風式のオーブンを使ってきました。しかし、問題点は、エネ...

水素センサーの加熱を正しく行うには 水素センサーを製造している方なら、その手間の大変さはよくわかるでしょう。薄膜は繊細で、触媒もしっかりと固定されていなければなりません。もし加熱の強度が少しでもずれてしまうと、作った製品は全て廃棄処分になってしまいます。 だからこそ、私たちは短波長のIRシステムを...

IRランプが壊れると、すべてが台無しになります。 半導体製造の現場では、ランプが壊れるのは単なる小さなトラブルではありません。それは本当の悪夢です。 例えば、大量生産の最中に石英製の容器が割れてしまったとします。すると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。これにより...

製造現場では、ホットプレートの位置が半度ずれても、それだけでは問題にはなりません。しかし、多くのコストが無駄になってしまいます。ソフトベイクとハードベイクによって重要な寸法が決まりますが、熱的な条件については議論の余地はありません。私たちは、この現実に合わせてウェーハチップ用の温度センサーを開発し...