버스트 램프로 인해 생산된 웨이퍼들이 망가지는 것을 막아야 합니다.
반도체 가열 과정에서 버스트 램프는 정말 큰 문제입니다. 단순히 가열이 중단되는 것뿐만 아니라, 과도한 부하로 인해 석영관이 파손되면 마치 수류탄처럼 작동하여 웨이퍼 표면에 유리 조각들과 금속 파편들이 흩어집니다. 한 번만 그런 일이 발생해도 전체 생산된 웨이퍼들이 폐기되고 맙니다.
우리는 이러한 상황을 방지할 방법을 찾기 위해 많은 시간을 투자했습니다.
혼란을 내부에 가두기
우리는 극도로 순도가 높은 융합 석영을 사용합니다. 이 물질은 급격한 가열 및 냉각에도 깨지지 않습니다. 하지만 그だけ으로는 충분하지 않습니다.
우리는 램프 주위에 특수한 보호 코팅을 추가합니다. 이는 일종의 안전망과 같은 역할을 합니다. 만약 내부 필라멘트가 고장 나더라도, 유리 조각들은 보호 코팅 안에 갇혀 있게 됩니다. 이렇게 하면 재앙적인 상황을 통제된 상황으로 바꿀 수 있습니다. 램프는 사라지겠지만, 웨이퍼들은 보호됩니다.
열 문제 해결
고출력 램프는 매우 뜨거워집니다. 만약 냉각 시스템이 주변 온도 상승을 감당할 수 없다면, 램프의 끝부분이 과열됩니다. 이로 인해 밀폐 구조에 엄청난 부담이 가해집니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 필라멘트가 위치하는 곳을 조정했습니다. 열이 램프의 지지대가 아닌 웨이퍼에 직접 닿도록 하는 것입니다. 이렇게 하면 유리가 가장 취약한 부분에서 부드러워지거나 깨지는 것을 방지할 수 있습니다.
합리적인 타협
우리의 램프는 그대로 교체할 수 있도록 설계되었기 때문에, 몇 시간 동안 문제를 해결하느라 고민할 필요가 없습니다.
하지만 한 가지 단점이 있습니다. 보호 코팅을 사용함으로써 웨이퍼를 깨끗하게 유지할 수는 있지만, 일반 석영관에 비해 적외선 전달이 약간 줄어듭니다. 따라서 원하는 속도로 가열하기 위해서는 전력 설정을 약간 조정해야 할 수도 있습니다.
이것도 합리적인 타협입니다. 며칠 동안 깨진 웨이퍼들을 청소하는 것보다는, 2초만 투자하여 설정을 조정하는 게 낫습니다.