MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

멤스 웨이퍼를 깨끗하게 건조시키는 방법 멤스 센서를 제작할 때 가장 원하지 않는 것은 먼지나 화학물질로 인해 웨이퍼가 손상되는 것입니다. 하지만 그러한 오염 물질들을 웨이퍼 표면에서 제거하는 것은 쉽지 않습니다. 오랫동안 사람들은 강제 공기 순환식 오븐을 사용해왔습니...