진공 호환 적외선 히터

리소 플로어에서 포토레지스트 베이킹은 워밍업이 아닙니다. 그것은 치수 잠금 장치입니다. 1°C의 드리프트는 소프트 베이킹 또는 하드 베이킹에서 중요한 치수(CD)와 사이드월 각도를 이동시키고, 스크랩 양은 빠르게 증가합니다. 진공 공정에서 기존 히터는 가스를 발생시키...