半导体扩散炉灯

在工厂的制造环境中，那种扩散炉用的灯并非仅仅是热源而已。它实际上决定了整个系统的温度控制标准。如果在软烘或硬烘过程中，温度出现哪怕1度的偏差，光刻胶的厚度就会发生变化，进而影响光刻质量。因此，所需要的是一种稳定、精确且响应迅速的热源。 我们的技术实现方式 我们使用石英封装的近红外卤素元件作为热源。...