真空室红外加热器
为什么我们不会在真空红外灯的测试中走捷径 真空环境极其恶劣,几乎没有任何出错的余地。当我们为这种环境设计红外加热器时,哪怕是微小的电气故障也会带来严重后果。一次电弧放电或绝缘层损坏,不仅会毁坏灯泡,还可能破坏整个真空室,甚至导致主电源系统失效,让所有设备停止运转。那无疑是一场噩梦,没人愿意经历。...
真空兼容红外加热器
在光刻车间,光刻胶烘烤不是简单的预热,而是尺寸锁定。
软烘烤或硬烘烤温度漂移1℃,会导致关键尺寸(CD)和侧壁角度偏移,废品率迅速上升。在真空工艺中,传统加热器可能会产生气体排放、脱落颗粒或加热不均匀,最终不得不以牺牲良率换取运行时间。
技术关键点
我们设计了一款基于短波近红外(NIR)光源的真空...