メモリースイッチ用ウェーハを汚れなく乾燥させる方法
メモリースイッチセンサーを製造する際、最も避けたいのは、ほこりや化学物質がウェーハを損傷させることです。しかし、その表面から水分や溶剤を取り除くのは簡単ではありません。
長年にわたり、人々は送風式のオーブンを使ってきました。しかし、問題点は、エネルギー消費が多く、空気を送り込む方式であるため、クリーンルーム内では粒子が舞い上がってしまうことです。
そのため、私たちは短波赤外線ヒーターを採用しました。空気を加熱するのではなく、放射熱を利用するのです。ファンもなく、空気の流れもないため、汚染物質もほとんど発生しません。
実際の仕組み
赤外線ヒーターは、部屋の中の空気には関与せず、直接水分子や溶剤残留物を加熱します。光子が表面に当たると、分子が振動し、液体はすぐに蒸発してしまいます。これはほぼ瞬時に起こります。巨大な金属容器を温めるために大量のエネルギーを使う必要はありません。ウェーハだけを効率的に加熱できるのです。
環境への影響
業界では、鉛フリー化や環境に優しい基準への移行が進んでいます。正直、そろそろその時が来ているのです。
赤外線硬化技術は、この流れにぴったり合致します。従来の乾燥剤が必要とするような化学物質は不要です。加熱要素からVOCが漏れ出ることもありません。単純に、エネルギーがA地点からB地点へと移動するだけです。
欠点（完璧なものはない）
ただし、高強度の赤外線ランプは非常に強力です。速く乾燥させるのには良いのですが、過度に使用するとウェーハが変形してしまう可能性があります。そのため、出力を適切に制御するためのPIDコントローラーが必要です。
また、ヒーターの石英製のケースはとても壊れやすいので注意が必要です。工具の交換時に少しでも乱暴に扱うと、ランプが破損してしまいます。
私たちのシステムは、既存の対流式装置に簡単に組み込むことができます。そうすれば、ウェーハの処理速度が上がり、プロセスもよりクリーンになります。ただし、ランプから放出される熱を冷却システムが処理できるか確認しておく必要があります。