無駄な時間の浪費をやめよう：なぜUHP赤外線が最適なのか
ウエハーを加熱する方法について話しましょう。長い間、一般的に使われてきたのは熱風循環方式でした。しかし、実際に工場で働いてみれば、その非効率さがわかります。強制対流方式というのは、単に空気を温めて、その空気がウエハーに熱を伝えるのを期待するだけです。
これは非常に遅い方法です。反応に時間がかかります。
一方、UHP赤外線ランプはそうではありません。中間媒体を介さず、直接放射能を利用して対象物に熱を与えます。これは直接的な加熱方法です。
速度の違いは驚くほど大きいです。
熱風方式には「熱慣性」という問題があります。温度を上げるのに時間がかかり、冷却するのも同様に時間がかかります。そのため、各工程に数分のロスが生じます。一方、UHPランプを使えば、ほぼ瞬時に目標の温度に到達します。私たちは、小さなサイズでも大量のエネルギーを発揮するように設計しています。つまり、数分ではなく、数秒で目標の温度に到達するのです。
このようにして工程時間を短縮すれば、1時間あたりの処理量が増えます。そして最良な点は、クリーンルームのスペースを増やす必要がないということです。
また、空気を動かすということは、粒子を動かすことに他なりません。たとえ最高品質のHEPAフィルターを使っても、依然としてウエハーに粒子が飛んでしまいます。これは避けたいリスクです。私たちは、ガス放出を防ぐために高純度の合成石英を使用しています。高速の空気流がないため、不要な場所に粒子が落ちることもありません。つまり、より清潔です。
正直に言うと、赤外線も魔法の杖ではありません。方向性があります。空気は部品の周りを回りますが、赤外線は懐中電灯のようです。もしランプの位置が数ミリでもずれていると、温度の不均一が生じます。つまり、冷たい部分ができてしまいます。熱がウエハー全体に均等に届くように、反射器の位置を正確に調整する必要があります。
しかし、迅速な電力切替が可能な制御システムがあれば、大きなメリットがあります。より速い温度上昇、より清潔な環境、そして必要な速度で作業が進むのです。