ガラスの破片からウェーハを守る：IRランプの故障を防ぐ方法 高負荷な運転中にIRランプが壊れてしまった経験がある人なら、それがどれほどひどいことか理解しているでしょう。単に電球を交換するだけでは済みません。ガラスの破片やハロゲンガスの問題もあります。そして、一括りのウェーハがすべて無駄になってしま...

はじめに 私たちがこのクリーンルーム用赤外線ランプを開発したのには、単純な理由があります。それは、実際に効果的な暖かさを提供することです。ご存知の通り、その場ですぐに温かさが必要ですが、装置が損傷したり、エネルギーを無駄にしたりするリスクも避けたいのです。そこで、方向性のある加熱方式を採用しました...