ウェーハの汚染という悪夢を止めよう 正直に言って、半導体製造においては、ランプが壊れるとそれは大惨事です。単なる部品の故障ではなく、大混乱につながります。重荷がかかって石英管が割れると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハに降り注ぎます。 一瞬前まではすべて正常だったのに、次の瞬間には...

半導体の製造においては、熱が不可欠です。しかし、実際に工場で働いたことがある人ならわかると思いますが、どれだけのエネルギーが無駄に消費されているか。従来の抵抗加熱器は、実質的には装置全体を温めるためのものに過ぎません。これは明らかな無駄遣いです。 もし本当に環境に優しい工場を実現したいのであれば、...