ウェーハの汚染という悪夢を止めよう
正直に言って、半導体製造においては、ランプが壊れるとそれは大惨事です。単なる部品の故障ではなく、大混乱につながります。重荷がかかって石英管が割れると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハに降り注ぎます。
一瞬前まではすべて正常だったのに、次の瞬間には大量のウェーハが廃棄されてしまいます。これは誰も望まない状況です。
なぜ二本のチューブを使うのか
熱に関して言えば、すべてのエネルギーを1本の高ワット数のチューブに集中させると、中心部分が極端に高温になります。これにより石英管に過度な負担がかかり、最終的には破壊されてしまいます。
この問題を解決するために、負荷を2本のチューブに分けて処理します。そうすることで表面温度をコントロールし、急激な温度変化によるガラスの破壊を防ぎます。同時に、製造に必要な十分な熱も得られます。
金メッキの利点
では、なぜ金を使うのでしょうか？
通常の石英では、赤外線があらゆる方向に漏れてしまいます。しかし、チューブの裏側に金の層を加えることで、まるで鏡のように機能し、エネルギーをウェーハに直接当てることができます。
最良の点は、電圧を危険なレベルまで上げることなく、より高い熱密度を得られることです。つまり、より効率的です。
安全を守るために
どんなランプでも完全に壊れないわけではありません。生産を限界まで進めると、何か問題が起こる可能性があります。
安心して眠るためには、物理的な保護装置や石英製の「安全カバー」を使用することをお勧めします。そうすれば、万が一チューブが壊れても、破片が作業を台無しにすることはありません。
最後に、電源にも注意しましょう。温度目標を数秒早く達成するために、金メッキされたランプに過剰な電圧をかけるのは避けましょう。そうするとフィラメントが壊れ、ランプが破裂してしまいます。PID設定をランプの自然な昇温速度に合わせてください。少し時間はかかりますが、大惨事を避けることができます。