半導体スパッタリングヒーター

ライン上では、温度は「提案」ではなく「仕様」である。フォトレジストのソフトベイク中に1℃のずれや、キュア中にウェーハ全体で2℃のホットスポットが発生すると、オーバーレイのマージンやエッチングの選択率が静かに削られていく。スパッタリングおよびその付随する熱処理工程において、ヒーターは単に熱を加えるだ...