SEM 走査型電子顕微鏡 用ヒーター

リソグラフィー装置内では、わずかな位置のずれでもSEMステージが動いてしまい、CD測定の精度が悪化してしまいます。また、フォトレジストの硬化プロファイルも、ビーム下での熱安定性によってのみ再現性が保たれます。必要なのは、単に熱を供給するだけでなく、その熱量を正確に制御できるヒーターです。 技術的に...