半導体拡散炉用ランプ

製造現場では、その拡散炉用のランプは単なる熱源に過ぎません。実際には、温度を正確に制御することが重要です。ソフトベイクやハードベイクの際に、たとえ1度でも温度がずれてしまうと、フォトレジストの性状が変わってしまいます。それにより、リソグラフィーの精度も低下し、生産効率も落ちてしまいます。必要なのは...