グローブボックス用赤外線ヒーター素子

IRランプによってウェーハが損傷するのを防ぎましょう。 大量生産を行う半導体製造現場では、IRランプが故障すると大変な問題になります。単に稼働停止だけの問題ではありません。もし石英管がシリコンウェーハの上で破壊されれば、ウェーハが汚染され、一括して廃棄しなければならなくなります。本当に厄介です。...