ウェーハ用高精度IRセンサー

IRランプが壊れると、すべてが台無しになります。 半導体製造の現場では、ランプが壊れるのは単なる小さなトラブルではありません。それは本当の悪夢です。 例えば、大量生産の最中に石英製の容器が割れてしまったとします。すると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。これにより...