ウェーハの汚染という悪夢を止めよう 正直に言って、半導体製造においては、ランプが壊れるとそれは大惨事です。単なる部品の故障ではなく、大混乱につながります。重荷がかかって石英管が割れると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハに降り注ぎます。 一瞬前まではすべて正常だったのに、次の瞬間には...

製造現場では、ウェーハの乾燥やフォトレジストの焼成時に生じる熱的なずれは、致命的な故障としては現れません。代わりに、歩留まりの低下やCD分布のばらつき、そして多くの再作業が発生します。厳しい温度管理が求められるため、ホットスポットやコールドエッジ、または運転ごとに変動する設定値の余地は一切ありませ...

工場現場において、1週間フル稼働した後、夜間の冷え込みで不調をきたすヒーターは最も避けるべきものです。そこで、Golden tube heaterが組み立てラインを離れる前に、定格電圧でのフルパワー100％負荷のバーンイン試験を実施しています。ヒーターを全開運転し、発熱体が安定し、接続部が緩まない...