3D 화염형 벽난로 히터
적외선 난방기에 약간의 먼지가 쌓이면, 단순히 빛의 밝기가 줄어드는 것뿐만 아니라, 난방 요소가 먼지에 싸여버려서 동일한 온도를 유지하기 위해 더 많은 에너지가 필요해집니다. 시간이 지나면 이러한 부담이 에너지 비용으로 나타나고, 난방기의 수명도 단축됩니다. 다행히도...
웨이퍼 가공 장비용 온도 센서
생산 라인에서는, 가열판의 위치가 반도정도만 벗어나도 문제가 생기지 않습니다. 오히려 그로 인해 많은 손실이 발생합니다. 소프트 베이크와 하드 베이크는 웨이퍼의 크리티컬 디멘션을 결정하는 데 중요한 역할을 하며, 열 관리도 매우 중요합니다. 저희는 이러한 현실을 고려...
반도체 확산 로 램프
제조 공장에서 그 확산로용 램프는 단순한 열원에 불과하지 않습니다. 오히려 그 램프가 전체적인 열 조건을 결정합니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 온도가 단 1도라도 잘못되면, 포토레지스트의 특성이 변하게 됩니다. 이로 인해 리소그래피 과정도 영향을 받고,...
제조용 R7s 적외선 난방 전구
팹에서는 포토레지스트의 열 관리가 매우 중요합니다. 단 1도라도 온도가 변동한다면, 그로 인해 제품의 치수 제어가 어려워지고 생산성도 저하됩니다. R7s 인파라레드 히팅 불빛은 바로 이러한 온도 변동을 방지하기 위해 설계된 것입니다.
중요한 요소들 R7s는 단파장 인...
욕실 히터
상업용 건물에서는 보통 욕실이 가장 먼저 추위를 느끼는 곳이며, 그로 인해 문제가 발생하기도 합니다. 강제환기 시스템은 에너지를 낭비하게 만들고, 비용도 점점 증가하게 됩니다. 이러한 문제를 해결하기 위해 우리는 고효율적인 적외선 욕실 히터를 개발했습니다. 이 히터는...
SEM(주사전자현미경) 히터
리소그래피 공정에서는, 아주 약간의 움직임만 있어도 SEM 스테이지의 위치가 변하게 되고, 이는 CD 측정 결과에 오차를 초래합니다. 또한, 포토레지스트를 건조시키는 과정에서의 일관성도, 빔이 작용하는 환경 하에서의 열 안정성에 달려 있습니다. 따라서 중요한 것은 단...
타워 히터
근무 시간이 길어지고 기온이 낮아질 때, 상업 공간에는 조용하고 균일하며 신뢰할 수 있는 난방이 필요합니다. 추운 작업실이나 바람이 잘 드는 쇼룸, 혹은 개방된 접수 공간은 모든 사람들의 만족도를 떨어뜨립니다. 편안함이 보장되지 않으면, 그 영향은 단순히 편안함에만...
웨이퍼 가열을 위한 기술 지원
제조 현장에서는 알다시피, 온도가 단 0.5도만 변해도 결과에 큰 영향을 미칩니다. 가장자리 부분의 온도를 너무 높게 설정하면, 양질의 제품들이 폐기물로 전락할 수 있습니다. 웨이퍼를 가열할 때는 열 제어가 매우 중요합니다. 클린룸 내부에서는 손으로 조절하는 것이 아...
태양전지 웨이퍼 건조 램프
파쇄 공정에서는 포토레지스트의 안정성이 매우 중요합니다. 세척 후에도 약간의 수분만 남아 있어도 결함이 발생할 수 있습니다. 또한, 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서의 온도 조절도 매우 중요합니다. 일반적인 건조 방식을 사용하면 온도 프로파일이 변동되어 입자 수나...
테라스 히터
맑은 저녁에 밖으로 나가보면, 이제는 익숙한 광경이죠. 오래된 전기식 오일 라디에이터는 윙윙거리며 빛을 내지만, 다리는 여전히 차갑습니다. 파워 미터는 계속 돌아가지만 말이죠. 우리가 원하는 것은, 주변 공기뿐만 아니라 실제로 몸을 따뜻하게 해주는 온기입니다. 바로...
신발 건조기 히터
겨울 밤에는 추위가 뼛속까지 스며드는데, 집 안으로 들어간 후에도 그 추위는 여전히 남아 있습니다. 일반적인 히터는 겉은 따뜻해지지만, 몸의 내부는 여전히 차갑게 느껴집니다. 이럴 때가 바로 적외선 히터가 유용한 순간입니다. 적외선 히터는 필요한 부분에 따뜻함을 전달...
책상용 개인용 히터
불빛이 깜박이거나 전압이 낮아지면, 대부분의 책상용 히터는 밝기가 약해지거나 아예 작동을 중단합니다. 그래서 사람은 몸을 앞으로 숙여야 하고, 집중력도 떨어지며, 손도 아프게 됩니다. 저희는 이런 상황에서도 일정한 적외선 열을 공급할 수 있는 책상용 히터를 만들었습니...
린스 램프를 사용한 후에도 빠르게 건조되는 웨이퍼
팹 내에서의 세척 단계는 끝이 아닙니다. 이는 오염물질이 침투하기 전의 마지막 관문일 뿐입니다. 물자국, 천천히 마르는 현상, 그리고 과열된 부분들은 단순히 외형상 문제가 되는 것이 아니라, 생산 효율을 떨어뜨리고 예기치 않은 가동 중단을 초래합니다. 세척 후에는 입...
리소그래피 소프트 베이크 가열 요소
반도체 제조 현장에서 소프트 베이크 온도 안정성은 선택 사항이 아니라, 중요 치수 유지와 웨이퍼 불량 전환을 구분하는 경계선이다. 1.5°C 온도 편차는 포토레지스트 프로파일 여유를 상실시키고, 베이크 중 발생하는 입자는 다음 층의 오염을 초래한다. 우리는 이러한 고...
골든 튜브 히터
공장 현장에서 가장 피해야 할 것은 일주일간 강하게 작동하다가 밤 기온이 내려가면 불안정해지는 히터다. 따라서 Golden tube heater가 조립대를 떠나기 전, 100% 부하 상태에서 전력 최대치를 적용한 번인 테스트를 진행한다. 정격 전압 하에서 전열체가 안...