산업용 웨이퍼 건조 시스템 히터

작업 현장에서 수율은 열 제어에 달려 있다. 소프트 베이크 온도가 단 몇 도만 어긋나도 중요한 치수 제어가 어려워진다. 입자를 제거하는 건조 단계는 결함으로 가는 일방통행 티켓과 같다. 우리는 그러한 현실을 받아들이고 맞서지 않는 산업용 웨이퍼 건조 히터를 설계했다....