웨이퍼 가열을 위한 기술 지원

제조 현장에서는 알다시피, 온도가 단 0.5도만 변해도 결과에 큰 영향을 미칩니다. 가장자리 부분의 온도를 너무 높게 설정하면, 양질의 제품들이 폐기물로 전락할 수 있습니다. 웨이퍼를 가열할 때는 열 제어가 매우 중요합니다. 클린룸 내부에서는 손으로 조절하는 것이 아...