真空兼容红外加热器

在光刻车间，光刻胶烘烤不是简单的预热，而是尺寸锁定。 软烘烤或硬烘烤温度漂移1℃，会导致关键尺寸（CD）和侧壁角度偏移，废品率迅速上升。在真空工艺中，传统加热器可能会产生气体排放、脱落颗粒或加热不均匀，最终不得不以牺牲良率换取运行时间。 技术关键点 我们设计了一款基于短波近红外（NIR）光源的真空...