扫描电子显微镜加热器

在光刻车间里，哪怕是极微小的位移都会影响CD值的测量精度。而光刻胶的固化过程是否能够重复进行，取决于其在辐射下的热稳定性。因此，我们需要的是一种能够精确控制温度的加热器。 从技术层面来看，什么是重要的？ 我们使用的SEM加热器采用了低挥发性的材料，并配备了响应速度快的卤素/石英灯组，这样就能在需要...