半导体洁净室推车式加热器

阻止“玻璃雨”：如何有效保护晶圆免受红外灯故障的损害 如果曾经有过红外灯在高负荷运行时突然损坏的情况，那肯定是一种噩梦。问题不仅在于需要更换灯泡，还有那些飞溅的玻璃碎片、卤素气体，以及整批晶圆因此而报废的现实。这真是混乱又昂贵的状况。 我们专门设计了洁净室用加热器，就是为了打破这种故障链条。 控制...