终结晶圆污染的噩梦 说实话，在半导体加工过程中，灯管爆裂无疑是一场灾难。这不仅仅是“部件故障”，而是一团糟的局面。当石英管在高压作用下破裂时，玻璃碎片和钨丝会飞溅到晶圆上。 前一秒一切正常，下一秒，整批晶圆就报废了。这真是让人头痛不已的问题。 为何采用双管结构 关于热量问题，如果把所有能量集中在一...

在半加热过程中减少碳排放（无需再为温度控制发愁） 制造半导体需要大量热量。但如果你曾在工厂里工作过，就会知道有多少能量被白白浪费掉了。传统的电阻式加热器其实只是用来给整个设备壳体加热的工具，这显然是一种浪费。 如果我们真想实现绿色工厂的目标，那就必须停止对空气的加热，转而直接对晶圆进行加热。这时，...