终结晶圆污染的噩梦
说实话，在半导体加工过程中，灯管爆裂无疑是一场灾难。这不仅仅是“部件故障”，而是一团糟的局面。当石英管在高压作用下破裂时，玻璃碎片和钨丝会飞溅到晶圆上。
前一秒一切正常，下一秒，整批晶圆就报废了。这真是让人头痛不已的问题。
为何采用双管结构
关于热量问题，如果把所有能量集中在一个高功率的灯管中，那么该灯管的中心温度会过高，从而造成石英管过度受压，最终导致其破裂。
我们通过将负载分摊到两个灯管上来解决这个问题。这样就能控制表面温度，避免因突然的热冲击而导致玻璃破裂，同时仍能满足工艺所需的温度要求。
黄金涂层的妙用
那为什么要用黄金涂层呢？
普通的石英材料会有能量泄漏的情况——红外辐射会向四周散射。通过在灯管背面添加黄金层，就可以起到镜子的作用，将能量集中到晶圆上。
最妙的是，这样无需提高电压就能让目标区域获得更高的温度密度。这种方式更高效。
确保安全
其实，没有哪种灯管是绝对不会损坏的。当生产压力很大时，意外情况难免会发生。
为了确保安全，建议使用物理防护装置或石英“安全套”。这样，即使灯管发生破裂，碎片也会被限制在防护装置内，不会损坏晶圆。
最后一条建议：注意电源设置。虽然想要更快达到目标温度，但不要试图过度加压。那样只会损坏灯丝，导致灯管破裂。只需将PID设置与灯管的自然升温速率相匹配即可。虽然需要多花一点时间，但这样可以避免灾难性的后果。