半导体溅射加热器

在线生产中，温度不是建议——而是规格要求。光刻胶软烘过程中温度偏移1°C，或固化过程中晶圆上的2°C热点，都会悄无声息地侵蚀你的叠层余量和刻蚀选择性。在溅射及其相关的热处理步骤中，加热器不仅仅是提供热量，更是设定了工艺必须持续遵守的热预算。 我们选择基于红外技术设计半导体溅射加热器，因为晶圆加热本...