终结晶圆污染的噩梦 说实话，在半导体加工过程中，灯管爆裂无疑是一场灾难。这不仅仅是“部件故障”，而是一团糟的局面。当石英管在高压作用下破裂时，玻璃碎片和钨丝会飞溅到晶圆上。 前一秒一切正常，下一秒，整批晶圆就报废了。这真是让人头痛不已的问题。 为何采用双管结构 关于热量问题，如果把所有能量集中在一...

为什么我们如此重视红外灯的电气安全性 我们在红外灯中使用金质反射层，原因很简单：我们希望尽可能多的热量能够照射到目标物体上。金质涂层能够将红外辐射反射回原来的方向，从而提高热能密度。 不过，问题在于：当如此大的功率通过狭小的石英管传导时，就很容易出现安全隐患。 我们会对每一盏灯进行测试，无一例外。...

在半加热过程中减少碳排放（无需再为温度控制发愁） 制造半导体需要大量热量。但如果你曾在工厂里工作过，就会知道有多少能量被白白浪费掉了。传统的电阻式加热器其实只是用来给整个设备壳体加热的工具，这显然是一种浪费。 如果我们真想实现绿色工厂的目标，那就必须停止对空气的加热，转而直接对晶圆进行加热。这时，...