节能型晶圆加热器

引言 你是否曾感到自己被困在漫长的等待之中？当芯片经过复杂的加工步骤时，高温环境只会让整个流程更加缓慢。因此，我们设计了这款高效能晶圆加热器，以打破这一瓶颈。 它的核心优势在于速度。我们采用了短波红外卤素技术，将热量精准地传递到晶圆表面，而无需让整个处理腔室都变成烤箱。 其工作原理 这款加热器的设...