半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

ガラスの破片からウェーハを守る：IRランプの故障を防ぐ方法 高負荷な運転中にIRランプが壊れてしまった経験がある人なら、それがどれほどひどいことか理解しているでしょう。単に電球を交換するだけでは済みません。ガラスの破片やハロゲンガスの問題もあります。そして、一括りのウェーハがすべて無駄になってしま...