リソグラフィーソフトベーク加熱素子

ファブフロアにおいて、ソフトベイクの温度安定性は単なる好みではなく、クリティカルディメンションを維持するか、ウェーハがスクラップ化するかの境界線である。温度が1.5℃ずれるだけで、フォトレジストのプロファイルマージンが消失し、ベイク中に発生した粒子は次層の汚染を引き起こす。これらの故障モードを根本...