インターポーザ加熱用赤外線ランプ

ファブ内では、フォトレジストの焼成時に0.1°Cの温度変動があっただけで、300mmウエハーの一括生産が台無しになってしまいます。そのような温度変動を防ぐために、インターポーザー用の加熱用赤外線ランプが使用されています。 このランプの技術的な特徴は、高速応答性を持つ石英素子を利用した短波長赤外線放...