なぜ、真空IRランプのテストでは近道をしないのか？ 真空チャンバーというのは過酷な環境です。ここでは、ほとんどミスの余地がありません。このような環境用に赤外線ヒーターを作る際、わずかな電気的トラブルでも大問題になります。 たった一回のアーク発生や絶縁破壊だけで、ランプが壊れるだけでなく、チャンバー...

リソグラフィーフロアでは、フォトレジストの焼成はウォームアップではありません。それは寸法のロックです。 ソフトベイクまたはハードベイクでの1°Cの変動は、クリティカルディメンション（CD）やサイドウォール角度を移動させ、廃棄物の山が急速に増加します。真空プロセスでは、従来のヒーターはガスを放出した...