Di fasiliti pengeluaran, perubahan suhu sebanyak 0.1°C semasa proses pembakaran bahan fotoresist sudah cukup untuk memusnahkan keseluruhan kumpulan wafer berukuran 300mm tersebut. Lampu pemanas jenis inframerah digunakan untuk mengelakkan perubahan suhu tersebut daripada berlaku sama sekali.
Inilah intipati teknologi ini. Lampu tersebut menggunakan elemen kuarsa yang mampu memberikan haba dengan cepat, sehingga suhu di permukaan interposer dapat dikawal dengan tepat pada tahap ±0.1°C. Panjang gelombang cahaya yang dihasilkan disesuaikan agar tenaga tersebut sampai ke tempat yang diperlukan sahaja, tanpa merosakkan bahan dielektrik yang ada di bawahnya. Lampu ini beroperasi 24/7, tidak menghasilkan zarah-zarah berbahaya, dan mampu mencipta persekitaran yang bersih dari tahap Kelas 1 hingga Kelas 100.
Dalam proses litografi, kita tahu bahawa proses “soft bake” digunakan untuk mengekstrak pelarut dan membentuk struktur fotoresist. Proses “hard bake” pula digunakan untuk memfiksasi pola tersebut sebelum proses etching dilakukan. Kedua-dua proses ini memerlukan suhu yang stabil dan seragam. Lampu ini membantu mengekalkan suhu interposer pada tahap yang stabil, sekali gus mengurangkan variasi ketebalan garisan serta mengelakkan kemunculan kotoran selepas proses pembangunan.
Hasilnya? Kadar pengeluaran yang lebih tinggi, penggunaan semula yang lebih sedikit, serta kawalan ketepatan yang lebih baik. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana lampu ini hanya memanaskan kawasan yang dituju, bukan seluruh permukaan plat panas tersebut.
Beberapa perkara penting perlu dipertimbangkan semasa pemasangan: penyesuaian optik yang tepat dan pemasangan yang sesuai dalam bilik bersih agar jumlah zarah berbahaya dapat dikawal. Intensiti cahaya yang dihasilkan pula disesuaikan untuk setiap jenis interposer yang digunakan. Jika jenis interposer berubah, maka perlu dilakukan penyesuaian terhadap tetapan lampu tersebut.
Rancang integrasi awal antara sistem litografi dan pengawal suhu dengan teliti. Setelah semuanya disesuaikan dengan baik, proses pengeluaran akan berjalan lancar.