洗浄用の防水赤外線ランプ
防水型のリンス・ドライ用ランプを安全に、そして正常に機能させるために
正直に言って、高電圧のランプを蒸気や水滴が満ちた部屋に置くのは、問題を引き起こす原因になります。リンス工程を行っている間は、湿度が常に高い状態です。わずかな漏れやシールの不具合があれば、短絡や漏電が発生し、すべてが停止してしまい...
すすぎランプ後の速乾ウエハ
ファブの現場では、リンス工程は最終段階ではありません。それは、汚染が侵入する前の最後のチェックポイントに過ぎません。水滴や乾燥が遅いこと、または局所的な過熱は、見た目が悪くなるだけでなく、生産効率を低下させ、計画外の停止を引き起こします。リンス後には、粒子が混入したり、フォトレジスト層に負担がかか...