半導体ヒーター用テフロン線

なぜIR半導体製造装置でテフロンケーブルを使用するのか？ 半導体製造プロセスにおける炭素排出量を実際に削減したいのであれば、古くから使われてきた抵抗加熱方式に頼るのはやめなければなりません。高精度な赤外線加熱方式を採用することが最善の方法です。なぜなら、エネルギーをウェーハに直接送り込むことができ...