真空対応赤外線ヒーター

リソグラフィーフロアでは、フォトレジストの焼成はウォームアップではありません。それは寸法のロックです。 ソフトベイクまたはハードベイクでの1°Cの変動は、クリティカルディメンション（CD）やサイドウォール角度を移動させ、廃棄物の山が急速に増加します。真空プロセスでは、従来のヒーターはガスを放出した...