标签为“手套箱”的页面如下 手套箱红外加热元件 防止红外灯损坏您的晶圆 在大规模半导体生产中,如果红外灯出现故障,那可真是麻烦大了。问题不仅仅在于生产中断,如果石英管在处理硅晶圆时破裂,那么整个批次的晶圆都会被污染,不得不被废弃。这简直就是一场灾难。 正因如此,我们才会采用特殊方式来设计手套箱中的红外灯组件。 确保玻璃始终处于正确位置 我们不会... Read more...
手套箱红外加热元件 防止红外灯损坏您的晶圆 在大规模半导体生产中,如果红外灯出现故障,那可真是麻烦大了。问题不仅仅在于生产中断,如果石英管在处理硅晶圆时破裂,那么整个批次的晶圆都会被污染,不得不被废弃。这简直就是一场灾难。 正因如此,我们才会采用特殊方式来设计手套箱中的红外灯组件。 确保玻璃始终处于正确位置 我们不会... Read more...